真空 系统
产品特点
- 立式安装，包括真空容器，热沉底板系统，真空抽气系统，冷却/加热系统，测量与控制系统，隔振系统、辅助系统以及独立无油真空机组；
- 真空容器材料选用不锈钢，热沉选用紫铜材料；
- 单独配备独立无油真空机组
应用领域
用于引力波研究
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 常温空载极限真空度
-
≤5.0×10E-5Pa
- 内部有效尺寸为
-
Φ1200mm×2000mm
- 热沉均匀性
-
≤±5℃
- 测量与控制分系统采用PLC控制，并配置相应的测量模块及控制软件
- 能实现真空系统、温度系统的测量与控制
- 系统配置一套冷水机、空压机、底板及热沉安装车
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |